一、 概述
工業(yè)微波設(shè)備因其操作環(huán)境及模式的差異比較大,對電源本身的要求非常高,麥米電氣微波電源,以智能、節(jié)能、及小型化設(shè)計的特點,深度貼合整機客戶需求。目前我們微波電源產(chǎn)品已應(yīng)用在食品、醫(yī)藥、木材、化工產(chǎn)品、茶葉、制藥、陶瓷、UV廢氣環(huán)保,紙類等行業(yè)所需干燥、殺菌、反應(yīng)、燒結(jié)、提取,加熱等作用。并且正在朝更高功率段、更可靠設(shè)計、實現(xiàn)更多功能的方向進步。
二、 產(chǎn)品介紹
三、 應(yīng)用案例——人造鉆石MPCVD設(shè)備解決方案
半導(dǎo)體行業(yè)中,金剛石占有舉足輕重的地位,在精密制造、航天航空等國民經(jīng)濟諸多領(lǐng)域得到了非常廣泛的應(yīng)用。同時大尺寸、高品質(zhì)單晶金剛石的突破,對金剛石的生長、加工技術(shù)、關(guān)鍵設(shè)備提出了新要求。其中微波等離子體化學(xué)氣相沉積法(MPCVD)因其微波能量無污染、氣體原料純凈、沒有催化劑和雜質(zhì)的摻入等優(yōu)勢,成為制備大尺寸、高品質(zhì)單晶金剛石最有發(fā)展前景的技術(shù)之一!
麥米電氣變頻高壓電源WEPEX系列多年來致力于MPCVD設(shè)備的應(yīng)用而不斷研發(fā)創(chuàng)新,推出了WEPEX 4000H、WEPEX 6KW的微波源系統(tǒng),包含環(huán)形器、檢波器、波導(dǎo)、3KW/6KW磁控管和高壓電源。作為應(yīng)用設(shè)備的“心臟”驅(qū)動工作,將原料氣體經(jīng)過微波能量激發(fā)逐步生長成金剛石。
近年來由于市場對金剛石生長更快速的需求,對微波功率有了更大的要求。為此麥米電氣逐步推出WEPEX 10KW、WEPEX 15KW的微波源系統(tǒng)。整套系統(tǒng)以集成度更高、功率輸出穩(wěn)定、安裝操作便攜化、抗電網(wǎng)干擾等特點得到了市場的認可,同時可根據(jù)客戶需求進行定制化。